产品名称：三硅化五钛（Ti₅Si₃）

规格：0.8-10um（D50）  

形貌：不规则

颜色：黑灰色 

特点：高熔点、低密度、良好的高温稳定性、抗氧化性

用途：光学涂层

名称：三硅化五钛

分子式：Ti5si3

Cas：12067-57-1

外观：灰黑色

熔点：2130℃

沸点：2130℃

密度：4.39g/cm3

分子量：323.59

用途：硅化钛被广泛应用于金属氧化物半导体(MOS),金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）和动态随机存储器（DRAM）的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。

三硅化五钛的性能与使用：

Ti5Si3具有熔点高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及优异的高温性能如高的高温硬度、良好的高温稳定性、抗氧化性，能有希望用于1300℃以上的高温结构材料。Ti5Si3的熔点与高温结构陶瓷相接近甚至更高，但其密度却远低于一些高温结构陶瓷与高温合金，与钛合金相当，具备了在高温下使用的潜力。另外，由于其电阻和热阻均较低，Ti5Si3也有希望用于电气连接结构和扩散阻挡层。